Wu W, Qian G et Cui X
Sur la base des règles de superposition linéaire et de la transformation de Fourier discrète rapide, une solution semi-analytique est développée pour calculer les champs élastiques induits par des boucles de dislocation dans un système isotrope film-substrat mince. Le problème du champ élastique du système film-substrat mince est décomposé en deux sous-problèmes : la contrainte volumique due à une boucle de dislocation dans un espace infini et la contrainte de correction induite par la surface libre et l'interface du système film-substrat. Le champ élastique de correction est superposé linéairement au champ élastique volumique pour produire un déplacement continu et une contrainte de traction à travers le plan d'interface du système film-substrat parfaitement délimité. Tout d'abord, des exemples de calcul de boucles de dislocation dans un système film-substrat Cu-Nb sont effectués pour démontrer l'efficacité du calcul de l'approche semi-analytique développée. Ensuite, les champs élastiques des boucles de dislocation dans le film Cu et le substrat Nb du système film-substrat Cu-Nb sont analysés. Enfin, les effets de l'épaisseur du film et des positions des boucles sont étudiés et il s'avère que les champs élastiques de la boucle de dislocation sont considérablement influencés par ces deux facteurs.