La nanolithographie est la branche de la nanotechnologie concernée par l'étude et l'application de la fabrication de structures à l'échelle nanométrique, c'est-à-dire de motifs ayant au moins une dimension latérale comprise entre 1 et 100 nm.
La nanolithographie est l'art et la science de la gravure, de l'écriture ou de l'impression au niveau microscopique, où les dimensions des caractères sont de l'ordre du nanomètre (unités de 10 -9 mètre , ou millionièmes de millimètre).
Revues connexes de nanolithographie
Nano Research, Scripta Materialia, Nanoscale, Lab on a Chip - Miniaturisation for Chemistry and Biology